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2012/05/22 06:29 AM

膜厚分布150万点を同時に測定・可視化 新膜厚分布測定装置を商品化

分析機器関連情報

JFEテクノリサーチ株式会社



JFEテクノリサーチ(株)(本社:東京都中央区日本橋2-1-10柳屋ビル、代表取締役:影近博)は、シリコンウエハ・ガラス・樹脂フィルム・金属などの表面の薄膜の厚さの2次元的な分布を、短時間に高精度でパタンとして測定・表示する膜厚分布測定装置「FiDiCa(フィディカ)」を開発し、販売を開始しました。

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