分析事例を掲載しました
東レリサーチセンター
分析事例「高分解能RBSによるゲート絶縁膜の組成分析」を掲載しました。
分析事例「300mmウェハに対応した構造解析?座標リンク/配線不良箇所特定」を掲載しました。
分析事例「IGBT電気特性と結晶欠陥との関連性評価」を掲載しました。
分析事例「セクター型SIMSによるSi中ドーパント分析」を掲載しました。
分析事例「SIMS・SRによるイオン注入ウエハの面内均一性評価」を掲載しました。
分析事例「レーザー気化導入ICP-MSによる材料中の金属のイメージング?太陽電池用シリコン中の不純物分布測定?」を掲載しました。
分析事例「レーザー気化導入ICP-MSによる材料中の局所分析?LSIワイヤーボンディングの不純物測定?」を掲載しました。
